Формат обучения: Программы повышения квалификации
Форма обучения: Очная
Объем: 72 ак. ч.
Продолжительность: 18 недель
1.1 Основы зонной теории. Статистика электронов и дырок в полупроводниках.¶Уровень Ферми. Процессы генерации и рекомбинации в полупроводниках.
1.2 Основные материалы и соединения, применяемые в фотоэлектронике.¶Физические и фотоэлектрические свойства полупроводниковых материалов.
1.3 Донорные и акцепторные полупроводники.¶Контакты полупроводников. Омические контакты.
1.4 Основные полупроводниковые приборы и схемотехника устройств фотоники на их основе.
2.1 Эпитаксиальное выращивание полупроводниковых структур.¶Классификация эпитаксиальных методов.
2.2 Фотолитография
2.3 Технологии ионной имплантации и диффузии легирующих примесей.¶Технологии формирования защитных масок и вспомогательных слоев.
2.4 Маршруты производства фотоэлектронных приборов по меза- и планарной технологиям.
3.1 Модели процессов ионного легирования
3.2 Модели диффузионных процессов
3.3 Модели термического окисления
3.4 Модели эпитаксиальных процессов
3.5 Модель лазерной резки
4.1 Фундаметнальная система уравнений,¶Уравнение Пуассона. Уравнения непрерывности
4.2 Граничные условия в численном моделировании полупроводниковых структур
4.3 Модели генерации. Модели подвижности основных носителей.
5.1 Метод конечных разностей
5.2 Метод конечных элементов
5.3 Метод прогонки
5.4 Итерационные методы решения систем дифференциальных уравнений
5.5 Решение уравнений с частными производными методом конечных разностей
6.1 Численное решение уравнение теплопроводности для случая лазерного нагрева полупроводника при скрабировании.
6.2 Численное моделирование диффузионного процесса
6.3 Численное моделирование эпитаксиального процесса
7.1 Применение метода Шарфеттера -Гуммеля для решения ФСУ полупроводника
7.2 Одномерное моделирование полупроводниковых устройств в программе Sim Windows
Итоговый контроль
широкого круга слушателей, желающих ознакомиться с физикой полупроводников и численными методами
приобретение навыков численного моделирования полупроводниковых приборов и устройств на их основе
Руководитель
Короннов Алексей Алексеевич